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日本山武:微芯片传感器开辟未来
2005年11月25日 14:20  来源:山武集团  

    μFTM 传感器是山武拥有的专利技术之一。让我们探访一下嵌入微芯片中的尖端传感技术所开创的丰富多彩的世界。

日本山武:微芯片传感器开辟未来

日本山武:微芯片传感器开辟未来

    支持光源制制作

    μF(微流)传感器是由山武研制的领先于世界的气体流量测量专利技术。该传感器是采用微机电系统(MEMS: Micro Electro Mechanical System)技术制造的微小传感器芯片,传感器本身具有质量流量特性(不受气体的温度、压力变化的影响,可以测量变换到一定条件[一般为0℃、1气压]的体积流量),响应速度惊人,达到1msec (毫秒=1/1000秒),能够测量10mm/sec(秒速10mm)的超低流速,这相当于从香上飘起的烟的速度。

    采用该传感器的高性能气体流量计和控制器的压力损失非常小,利用这一特点可以在各种应用领域发挥很大的功效。譬如,以前由于压力损失而无法安装流量计的低压气体的流量控制;通过对工厂内大量使用的压缩空气的消耗量进行测量和泄漏检测,从而实现节能等等。

    在我们的日常生活中使用着各种光源,萤光灯是其中的代表,但在数字设备及近年来日益受欢迎的液晶电视等液晶的内侧装有一种被称为背光灯装置的东西,它作为光源显出数字图像。这些光源使用的都是玻璃管,在玻璃管的熔接和封口工序中,烧嘴温度的管理是必不可少的,这就要求极高的熟练技术。以高速响应和低压力损失见长的μF传感器设备将改变这一世界。

    目前,日本和台湾地区从事液晶背光灯生产的大部分企业,均在生产线的烧嘴空燃费控制中引进了采用μF传感器的气体质量流量控制器。在仅有数毫米的超细玻璃管的精密制造工序上,对其加热燃烧控制提供支持。在韩国和中国的知名度也在急速上升。

    支援先进技术的开发

    在这些制造业中为什么μF传感器的流量计会被广泛使用呢? 在生产数量非常多的玻璃加工产品的生产现场,成品率只要提高1%,就能对降低产品成本、提高质量产生重要影响。μF传感器技术将熟练技术人员所能达到的高成品率又提高了一步。这一微小的百分数的意义非常重大。同时,以高速响应和低压力损失见长的μF传感器,可以使保持成品率和质量的熟练技术实现自动化,为技术的相传作出贡献。此外,还能够消除因熟练技术人员的减少而带来的人手不足的问题,在节省人力的同时,确保高质量产品的稳定生产。

    使用玻璃和塑料的塑型产品在我们的生活中随处可见。在这些塑型产品的生产现场,相信μF传感器技术今后将促进生产技术的发展,提高生产效率,在采用新技术制造产品的过程中,成为必不可少的检测和控制技术。另外,μF传感器在流体力学研究领域的应用也倍受关注。我们为对进行复杂运动的气体的流动予以精密检测的研究室提供了众多的微流传感器。这些之所以能够实现,是因为山武本身拥有MEMS 研发体制和制造装置。从这一点也可以体会到孕育出专利技术的山武的技术优势。

    μF传感器开辟未来

    以上主要对日常生活中随处可见的液晶背光灯和萤光灯等玻璃管热加工控制进行了说明,但μF传感器在产业和医疗领域的应用也非常广泛。举例来说,在企业间的各种气体交易中,为保持公正要求高度的可靠性,使高精度的气体流量测量成为可能的是“交易用燃气表”。采用山武μF传感器的测量仪表,通过了国家认证机关的审核,作为交易用燃气表得到应用。在医疗领域,为患者供氧时也要求精密的气体测量。μF传感器在诸如此类的医疗现场被广泛应用于氧气及其它气体的供应中。

    而在最尖端的家电产品的生产现场,例如手机和数码相机中使用的微小电子零件的安装中又可见到μF传感器的影子。在真空吸盘将0.6 × 0.3 mm的微小芯片零件吸起,高速移动到印刷电路板上的安装工序中,μF传感器被用来确认微小芯片零件是否准确地吸附到吸盘上。并且,在CD、DVD、HD、水晶振荡器制造中的薄膜蒸镀时,真空室内的气体环境、炉内压力控制中也使用着μF传感器,高速响应性和再现性得到很高的评价。这样的应用事例正在各种产业领域不断扩大。

    在作为新一代替代能源的燃料电池的开发和生产领域也使用着采用μF传感器的气体流量计和控制器。燃料电池是以天然气、丙烷等燃料气体、空气、水为原料,通过改质器以高温使天然气的组成发生变化,产生氢气,使氢气与空气的中氧气发生作用产生电力的装置。在根据发电需求进行燃料气体量和空气量的控制中,μF传感器发挥着重要的作用。在燃料电池汽车、家用燃料电池的开发和应用方面,μF传感器今后同样会展现出优势。

 
 [关键词]:控制阀 山武 传感器  发表评论    【推荐】 【打印

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