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日机装展出微型泵:可同时供给液体气体
 
慧聪网   2005年11月11日9时13分   信息来源:日经BP社    

    日机装开发成功了不仅可以供给液体还可以供给气体的微型泵,并在“第16届微机械展”上展出。流量为1μl/分~50μl/分,可通过驱动频率控制流量。面向医疗用的分析装置。驱动电压为120V,耗电量为10μW。外形尺寸为22mm×16.5mm×4mm。目前已开始样品供应。

    此次开发的微型泵的工作原理是:使用压电元件向上驱动隔膜来吸入液体或气体,反之通过向下驱动隔膜来排出液体或气体。隔膜为单晶硅材料,周边覆盖玻璃底板,在隔膜上方设计有压电元件。该公司使用了MEMS技术来加工微型泵。此次通过加大向下驱动隔膜时施加的压力,实现了气体的排出,压力最大为30kPa。该公司原来的产品中,这一压力较小,即便给气体加压,气体也不会因压缩而排出。此次通过细化液体和气体的流路,提高了隔膜驱动所产生的压力。 

  此外,此次的微型泵可以两个联动使用。这样,通过隔膜驱动的联动,就可以减小液体或气体流量的变化即脉流现象。

 
 
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